Projekt mems.sk

Mikro-elektro-mechanické štruktúry a senzory pre využitie v automobilovom priemysle a doprave

Kód projektu:
NFP313011X741

Kód výzvy:
OPVaI-VA/DP/2018/1.1.3-06

Trvanie projektu:
1.1.2016 – 31.12.2019

Zodpovedný riešiteľ:
Ing. Mgr. Robert Andok, PhD.

Štatutárny zástupca ÚI SAV:
Ing. Ivana Budinská, PhD.

Odborní garanti:
Ing. Štefan Havlík, DrSc. (ÚI SAV, Banská Bystrica)
Ing. Mgr. Robert Andok, PhD. (ÚI SAV, Bratislava)

Zahraniční experti:
prof. Dr. Karol Hricovíni (Université de Cergy-Pontoise, Francúzsko)
prof. Dr. Hung-Yin Tsai (National Tsing Hua University, Hsinchu, Taiwan)

Zoznam riešiteľov:
Ing. Mgr. Robert Andok, PhD.
Ing. Štefan Havlík, DrSc.
prof. Ing. Ivan Hotový, DrSc.
Ing. Jaroslav Hricko, PhD.
Ing. Pavol Nemec
Ing. Anna Benčurová
RNDr. Ivan Kostič
Ing. Martin Kenyeres

Projekt je zameraný na nezávislý aplikovaný výskum a vývoj v oblasti návrhu snímačov neelektrických fyzikálnych veličín (chemické snímače, snímače sily/tlaku/priblíženia, snímače plynov). Projekt sa zároveň zaoberá technologickými možnosťami výroby mikro-elektro-mechanických štruktúr (MEMS) prostredníctvom inovatívnych prístupov elektrónovej litografie. Projekt je zameraný na doménu RIS3 SK Dopravné prostriedky pre 21. storočie, kde sa primárne zameriava na znalostnú oblasť Materiálové inžinierstvo a nanotechnológie a produktovú líniu Materiály, štruktúry, senzory a prvky.

V moderných vozidlách sa rapídne zvyšuje využitie a zložitosť elektronických technológií. Všetky elektronické systémy vo vozidle závisia od vstupných parametrov získaných zo senzorov, pričom vzrastá podiel senzorov vyrábaných pomocou technológií MEMS. Realizácia samotného výskumu a vývoja v projekte prispeje k skvalitneniu výskumno vývojových kapacít žiadateľa zapojením špičkových výskumníkov zo zahraničia do výskumného tímu. Ich spolupráca s výskumníkmi žiadateľa sa začala v minulosti a bude pokračovať aj v ďalších rokoch počas riešenia projektu a počas doby udržateľnosti projektu.

Aktivita 1.1

1. ANDOK, Róbert – HARŤANSKÝ, René – HRICKO, Jaroslav – HALGOŠ, Ján. Concept of a MEMS load cell sensor of mechanical quantities based on the EM field principle. In AIP Conference Proceedings: Applied Physics of Condensed Matter (APCOM 2018), 2018, vol. 1996, no. 020002. (2017: 0.165 – SJR). ISBN 978-0-7354-1712-0. ISSN 0094-243X. Typ: ADMB
   Podiel projektu na riešenej téme:0,10
2. HRICKO, Jaroslav – HARŤANSKÝ, René – ANDOK, Róbert – HALGOŠ, Ján. Additive manufacturing of a force/displacement sensor based on electromagnetic field principle. In AIP Conference Proceedings : Applied Physics of Condensed Matter (APCOM 2019), 2019, vol. 2131, no. 020017. (2018: 0.182 – SJR). ISSN 0094-243X. Typ: ADMB
   Podiel projektu na riešenej téme: 0,10
3. HAVLÍK, Štefan – HRICKO, Jaroslav – PRADA, Erik – JEZNÝ, Jaromír. Linear motion mechanisms for fine position adjustment of heavy weight platforms. In Advances in Intelligent Systems and Computing : Advances in Service and Industrial Robotics. RAAD 2019, 2020, vol. 980, p. 19-25. ISSN 2194-5357. Typ: ADMB
   Podiel projektu na riešenej téme: 0,10
4. HRICKO, Jaroslav – HAVLÍK, Štefan. Compliant mechanisms for motion/force amplifiers for robotics. In Advances in Intelligent Systems and Computing : Advances in Service and Industrial Robotics. RAAD 2019, 2020, vol. 980, p. 26-33. ISSN 2194-5357. Typ: ADMB
   Podiel projektu na riešenej téme: 0,10
5. HARŤANSKÝ, René – HRICKO, Jaroslav – MIERKA, Martin – DZURIŠ, Michal. MEMS sensor of force. In Advances in Nonlinear Science Conference Series: Scientific Heritage of Sergey A. Chaplygin : Nonholonomic Mechanics, Vortex Structures and Hydrodynamics. – Moscow-Izhevsk, Russia : Institute of Computer Science, 2019, book of Abstracts. P. 62-63. Dostupné na internete: http://umu.chuvsu.ru/chaplygin2019/docs/TezisChap.pdf. Typ: GII
   Podiel projektu na riešenej téme: 0,10

Aktivita 1.2

1. NEMEC, Pavol – HOTOVÝ, I. – ANDOK, Róbert – KOSTIČ, Ivan. Increased sensitivity of a gas sensor by controlled extension of TiO2 active area. In AIP Conference Proceedings: Applied Physics of Condensed Matter (APCOM 2018), 2018, vol. 1996, no. 020032. (2017: 0.165 – SJR). ISBN 978-0-7354-1712-0. ISSN 0094-243X. Typ: ADMB
   Podiel projektu na riešenej téme: 0,20
2. NEMEC, Pavol – HOTOVÝ, I. – ANDOK, Robert – KOSTIČ, Ivan. Comparison of TiO2 active area of gas sensors enhanced by annealing and RIE etching. In AIP Conference Proceedings : Applied Physics of Condensed Matter (APCOM 2019), 2019, vol. 2131, no. 020031. (2018: 0.182 – SJR). ISSN 0094-243X. Typ: ADMB Podiel projektu na riešenej téme: 0,20
3. HOTOVÝ, I. – LSPIESS L. – SOJKOVÁ M. – KOSTIČ I. – MIKOLASEK M. – PREDANOCY M. – ROMANUS H. – HULMAN M. – REHACEK V. Structural and optical properties of WS2 prepared using sulfurization of different thick sputtered tungsten films. In Applied Surface Science 461 (2018), p. 133-138. ISSN 0169-4332 Typ: ADCA
   Podiel projektu na riešenej téme: 0,10

Tieto publikácie vznikli vďaka podpore v rámci operačného programu Výskum a inovácie pre projekt: Mikro-elektro-mechanické štruktúry a senzory pre využitie v automobilovom priemysle a doprave, kód ITMS: 313011X741 , spolufinancovaný zo zdrojov Európskeho fondu regionálneho rozvoja.